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ASML设计将EUV光源功率提至1000W:2030年每小时晶圆产量可提拔50%
2月24日消息,据报道,ASML首席技术专家Michael Purvis在接受媒体采访时透露,研究人员已成功找到将极紫外(EUV)光刻机光源功率从当前的6
2026-02-24
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