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ASML全新EUV光刻机严重飞跃,1000W功率+50%、产能+50%
2月25日消息,ASML阿斯麦近日确认,全新一代Twinscan NXE EUV光刻机研发进展顺利,光源功率将提升50%达到1000W,生产效率也将提升20%达
2026-02-25
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